Ellipsométrie spectroscopique

Théorie et pratique de la mesure des indices optiques complexes (n,k) des matériaux. Utilisation d’un ellipsomètre spectroscopique.

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PRÉ-REQUIS

Aucun

Programme

Cours (4h) :
- Les concepts théoriques de l’ellipsométrie
- Les fonctions diélectriques des matériaux ( transparent, métalliques, semi-conducteurs)
- Modélisation du signal (matériaux inconnus , rugosité, épaisseur inconnue )
- Modèles multicouches
- Ajustement multiparamètre.

Manipulation (12h) :
- Instrumentation, techniques de mesures pour mesurer Psi et Delta, cinétiques
- Mesures des indices optiques complexes (n,k) pour des échantillons transparents ,conducteurs, couches minces, interfaces, rugosité de surface…
- Choix des modèles optiques optimums
- Manipulation des données.

Objectifs

Utiliser un ellipsomètre pour analyser optiquement un échantillon.

DIPLÔME DÉLIVRÉ

Attestation de stage

Durée : 14h

2 jours

Nombre :
2 à 4 participants

PUBLIC

Techniciens
Ingénieurs
Chercheurs.

LIEU

DIJON
Université de Bourgogne
(Bâtiment Mirande)

TARIFS

379 € par jour et par personne
(repas midi et pauses café inclus)

DATES

Dates à déterminer*

*Veuillez contacter le responsable pédagogique de formation

CONTACT

Responsable pédagogique :
FINOT Eric
Eric.Finot@u-bourgogne.fr

Chargé d’ingénierie de formation :
SALEUR Emmanuel
emmanuel.saleur@u-bourgogne.fr

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