Dépôts de couches minces par Evaporation, PVD

Théorie et pratique des méthodes de dépôt physique (évaporation thermique, évaporation par bombardement électronique, pulvérisation cathodique) utilisées en nanomicro- fabrication. Manipulations réalisées sur plusieurs bâtis de dépôt.

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PRÉ-REQUIS

Bac scientifique ou technologique

Programme

Cours (une demi-journée) :
- Généralités sur les techniques du vide (passage en revue des différentes pompes)
- Choix des techniques d’évaporation en fonctions des matériaux, Effet joule Bombardement électronique PVD
- Bases des procédés de nano-fabrication associés (litho, gravure) ; techniques de caractérisation de base (mesures par profilométrie, réflectométrie, microscopies),
- Exemples d’applications.

Manipulations :
- Préparation des substrats (nettoyage),
- Utilisation d’un bâti d’évaporation (dépôt métal) : une demi-journée,
- Utilisation d’un bâti de pulvérisation cathodique (dépôt oxyde ou nitrure) : une demi-journée.

Objectifs

- Connaitre les bases des techniques de dépôt, aussi bien les aspects scientifiques (paramètres physiques, qualité des couches obtenues) que techniques (paramètres de dépôts, aspects des techniques du vide, maintenance)
- Appréhender les bases des procédés de nano-microfabrication associés.

DIPLÔME DÉLIVRÉ

Attestation de stage

Durée : 14h

2 jours

Nombre :
2 à 4 participants

PUBLIC

-Techniciens
-Ingénieurs
-Chercheurs.

LIEU

DIJON
Université de Bourgogne
(Bâtiment Mirande)

TARIFS

360 € par jour et par personne
(repas midi et pauses café inclus)

DATES

Septembre 2017, Janvier et Mai 2018

*Veuillez contacter le responsable pédagogique de formation

CONTACT

Responsable pédagogique :
AROCAS Juan
juan.arocas@u-bourgogne.fr

Chargé d’ingénierie de formation :
SALEUR Emmanuel
emmanuel.saleur@u-bourgogne.fr

Assistante de formation :
SAUQUE Isabelle
isabelle.sauque@u-bourgogne.fr

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